晶圆 碳化硅
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国内首家开启英寸碳化硅的晶圆厂正式下线
英寸碳化硅(SiC)是一种新型的半导体材料,具有高温、高频、高功率和高辐射抗性等优异特性,在电力电子、汽车电子、新能源等领域具有巨大的应用潜力。国内首家开启英寸碳化硅的晶圆厂正式下线,标志着我国在碳化硅领域迈出了重要的一步。晶圆厂是生产半导体器件的重要基础设施,而英寸碳化硅晶圆的生产技术更加复杂和高难度。英寸碳化硅晶圆的制备涉及到材料种类、晶体生长、晶圆切割、次要处理等多个环节,每一个环节的精准控制都至关重要。国内首家英寸碳化硅晶圆厂的下线,不仅填补了我国在碳化硅领域的生产空白,也为我国自主可控的碳化硅芯片生产提供...